Mikroelektronikaning qisqarishi va gofret o'lchamlari o'sishi bilan chiziqli harakat tizimlariga qo'yiladigan talablar haddan tashqari darajaga yetdi. Mexanik aylanma sharlarning anʼanaviy-podshipnik yoʻriqnomalari jismoniy chegarasiga yetdi. Ishqalanish, teskari tebranish, mexanik eskirish va mikro{3}}tebranishlar ularning kichrayishi imkoniyatlarini cheklaydi. ni kiritinggranit havo rulman tizimi-qora granitning tabiiy geologik tekisligini bosimli havo plyonkalari bilan birlashtirgan ishqalanishsiz harakat texnologiyasi-yaqin mukammal chiziqli harakatga erishish.
Granit havo podshipniklari qanday ishlaydi
Havo podshipniklari yo'naltiruvchi yo'l ustidagi harakatlanuvchi vagonni qo'llab-quvvatlash uchun toza, quruq havoning yupqa, yuqori bosimli qatlamidan (odatda qalinligi 5 dan 10 mikrongacha) foydalanadi. Arava tom ma'noda havoda suzib yurganligi sababli, harakatlanuvchi qismlar o'rtasida nol jismoniy aloqa mavjud.
Biroq, havo rulmanı faqat u suzayotgan sirt kabi aniqdir. Yo'naltiruvchi ray notekis bo'lsa, havo bo'shlig'ining qalinligi o'zgarib turadi, bu havo bosimining keskin o'zgarishiga olib keladi, bu esa vagonning egilishi yoki tebranishiga olib keladi. Shuning uchun UNPARALLELED® Black Granite havo podshipniklari uchun eng zo'r hamkordir: uni qayta ishlov berish va qo'lda{2}}mikrondan past- tekislikka tushirish mumkin, bu esa havo plyonkasining sirpanishi uchun nihoyatda bir xil, silliq va o'lchov jihatidan barqaror sirtni ta'minlaydi.
Granit havo rulmanlarining asosiy afzalliklari
Nolinchi aşınma, cheksiz umr: Mexanik aloqa yo'qligi sababli, jismoniy eskirish va yirtiq bo'lmaydi. Tizimning aniqligi 1000-kuni 1-kundagidek bir xil bo'lib qoladi. Bu 24/7 toza xonalarda texnik xizmat ko'rsatish vaqtini keskin qisqartiradi.
Tezlikning silliqligi: Mexanik podshipniklar "tishlash" va aylanish qarshiligining o'zgarishidan aziyat chekmoqda. Havo podshipniklari toʻliq silliq, ishqalanishsiz harakatni taʼminlaydi, bu esa yuqori darajada barqaror sub{1}}nanometr tezlikni boshqarish imkonini beradi.
Haddan tashqari joylashishni aniqlash aniqligi: chiziqli motorlar va yuqori aniqlikdagi optik enkoderlar bilan birgalikda havo yotqizuvchi bosqichlar EUV (Ekstremal ultrabinafsha) litografiyasi va ilg‘or optik tekshiruv uchun zarur bo‘lgan sub-nometrli joylashishni aniqlashning takrorlanishiga erishishi mumkin.
Soqol talab qilinmaydi: an'anaviy podshipniklar vakuum kameralari yoki optik linzalarni gazdan chiqarishi va ifloslantirishi mumkin bo'lgan yog' yoki moyni talab qiladi. Havo podshipniklari toza havoda ishlaydi, bu ularni toza xonaga-to'liq mos qiladi.
Ilovaning diqqat markazida: yarimo'tkazgichli gofret tekshiruvi
Yarimo‘tkazgichli gofretni tekshirishda (AOI/X-RAY) kameralar fokus chuqurligini mukammal saqlab, yuqori tezlikda harakatlanuvchi gofretlarni skanerlashi kerak. Hatto kichik vertikal tebranish ham tasvirni xiralashtirishi mumkin. Havo podshipnikli vagon o'ta tekis granit yo'naltiruvchi relsda harakatlansa, vertikal og'ish (pog'ona, burilish va burilish) deyarli yo'q-qolishini ta'minlaydi, bu esa yuqori-o'tkazuvchanlik, xatoliksiz{6}sifatni nazorat qilish imkonini beradi.
Soʻrov boʻyicha qoʻllanma: Maxsus havo{0}}podshipniklari yuqori darajada muvofiqlashtirilgan mexanik bardoshliklarni talab qiladi. Narxni so'rashda muhandislar granit tuzilishi va havo nozullari yagona, uyg'un birlik sifatida ishlab chiqilganligini ta'minlash uchun foydali yuk og'irligini, maqsadli tezlashuvni va atrof-muhit parametrlarini (vakuum va atmosfera) belgilashlari kerak.