Vakuum nasoslari, yuk ko'taruvchi kranlar, fan bloklari va qo'shni operatsion uskunalar tomonidan ishlab chiqariladigan yarimo'tkazgichli toza xonalarda sezilmaydigan past chastotali mikro-vibratsiyaning bir nechta manbalari mavjud. Ushbu tebranishlar pollar va qurilish inshootlari orqali ishlab chiqarish uskunalariga tarqaladi. Gofretni tekshirish, yopishtirish va litografiya asboblari uchun nanometr darajasidagi jitter loyqa tasvirlarni, hizalanish ofsetini va qoplama xatolarini keltirib chiqaradi, bu esa to'g'ridan-to'g'ri gofret parchalanishiga va hosilning yo'qolishiga olib keladi. Ko'pgina uskunalar ishlab chiqaruvchilari tebranish shovqinini yumshatish uchun tashqi tebranish-izolyatsiya platformalarini qo'llashadi. Shunga qaramay, izolyatorlar faqat tashqi tomondan uzatiladigan tebranishning bir qismini filtrlashi mumkin, bunda uskunaning o'z harakatlanuvchi komponentlari tomonidan yaratilgan o'z-o'zidan tebranadigan tebranishlarga nisbatan cheklangan yaxshilanish mavjud. Metall ramkalardan farqli o'laroq, granit portal konstruktsiyalari ichki materialning ichki namlash xususiyatlariga ko'ra strukturaviy darajada tebranish energiyasini iste'mol qiladi. U ichki va tashqi tebranishlarni bostiradi, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish liniyalarining qattiq ish sharoitlari talablarini yaxshi qondiradi.
Yarimo'tkazgichli uskunaning yuqori tezlikda ishlashida o'z-o'zidan tebranish muqarrar. Portal to‘sinlarga o‘rnatilgan chiziqli motorlar va toymasin bosqichlar yuqori tezlikda ishga tushirishni to‘xtatish va o‘zaro skanerlash vaqtida zarba tebranishini hosil qiladi. Po'lat va quyma temir portallar yomon dampingga ega. Tebranish paydo bo'lgandan so'ng, u asta-sekin parchalanadi va doimiy tizimli qo'ng'iroqni hosil qiladi. Tebranish ramka ichida aks etadi va optik linzalar, interferometrlar va gofret bosqichlarini o'z ichiga olgan yadro majmualariga uzatiladi. Vibratsiyadan kelib chiqadigan nuqsonlarning oldini olish uchun jihozlar harakat tezligini kamaytirishi va to'g'ridan-to'g'ri umumiy o'tkazuvchanlikni pasaytiradigan cho'kishni kechiktirish vaqtini qo'shishi kerak. Zich kristalli tekstura tufayli granit don chegaralari orasidagi ichki ishqalanish orqali tebranish energiyasini tez tarqatadi va qoldiq tebranish davomiyligini sezilarli darajada qisqartiradi. Harakat agregatlari harakatlarni tugatgandan so'ng tezda barqarorlashadi. Kengaytirilgan kutish vaqti kerak emas, bu esa uskunaga nanometr darajasidagi joylashishni aniqlash aniqligiga va yuqori tezlikdagi gofretni skanerlash-tekshirish stsenariylari uchun yuqori oʻtkazuvchanlikka erishish imkonini beradi.
Tashqaridan uzatiladigan mikro-vibratsiya yarimo'tkazgichli asboblar uchun yana bir qiyin muammo hisoblanadi. Toza xonalar uchun qurilish muhandislik tebranishini pasaytirish bilan ishlov berilsa ham, tebranish qo'zg'alishini doimiy ravishda harakatlanayotgan atrofdagi uskunani ishga tushirishni to'xtatish va ko'prikli kran zavod pollariga chiqaradi. Metall portallar tebranish uzatish yo'llari vazifasini bajaradi va kichik pol tebranishlarini yuqoriga, aktuatorlarga to'sqinliksiz o'tkazadi. Yuqori zichlikdagi massa inertsiyasidan va materiallarni susaytirishdan foydalangan holda, granit gantlari poldan tebranishning yuqoriga ko'tarilish samaradorligini zaiflashtiradi va butun mashina uchun ichki tebranish buferli to'siqni hosil qiladi. Bu optik yo'llar va metrologiya tizimlarining buzilishini yumshatadi. Hatto ustaxonalar ichidagi kichik fon tebranishida ham, havo o'tkazgich bosqichlari va portalga o'rnatilgan optik modullar barqaror havolalarni saqlaydi va tashqi tebranish izolyatorlariga ortiqcha bog'liqlikni kamaytiradi.
Rezonansning oldini olish yarimo'tkazgich uskunalari uchun amaliy ahamiyatga ega. Har bir mexanik ramka tabiiy rezonans chastotasiga ega. Seminarning qo'zg'alish chastotasi uskunaning tabiiy chastotasiga to'g'ri kelganda, rezonans kuchayishi sodir bo'ladi va kichik tebranishlarni keskin oshiradi va jarayon barqarorligini bir zumda buzadi. Metall ramkalar odatda ustaxonaning tebranish diapazonlari bilan bir-biriga mos keladigan tabiiy chastota diapazonlariga ega bo'lib, rezonans xavfini oshiradi. Yuqori o'z vazni va granit portallarining etarli darajada namlanishi to'liq uskunaning umumiy tabiiy chastotasini o'zgartiradi. Hatto rezonans diapazonlariga yaqinlashganda ham, yuqori damping rezonans amplitudasini bostiradi va tebranishning keskin kuchayishini oldini oladi. Bu 24/7 to'xtovsiz ishlab chiqarish jarayonida jarayon barqarorligini kafolatlaydi va kutilmagan rezonans hodisalari tufayli ommaviy gofret parchalanishining oldini oladi.
Strukturaviy bo'g'inlardagi tebranishlarni uzatish uzoq muddatli ommaviy ishlab chiqarish uchun ham muhimdir. Metall portallar asosan payvandlash va murvat ulanishlari orqali yig'iladi. Vibratsiyali ulanishlar va murvat interfeyslari bo'ylab qayta-qayta uzatiladi. Uzoq muddatli tsiklik tebranish konnektorlarni bo'shatib qo'yishi va tebranishlarni pasaytirish ish faoliyatini yanada yomonlashtirishi mumkin, bu esa vaqti-vaqti bilan joyida qayta mahkamlash va kalibrlashni talab qiladi. Monolitik tuproqli granit portallari ko'plab birlashtirilgan interfeyslarni yo'q qiladi va tebranish uzatish yo'llarini bloklaydi. Tsiklik tebranish ostida murvatni bo'shatishning yashirin xavfi yo'q. Uning tebranishini pasaytirish qobiliyati ko'p smenali uzluksiz ishlab chiqarishda pasaymaydi, ishlab chiqarish liniyasining to'xtab qolish vaqtini kamaytiradi va yarimo'tkazgich fabrikalarining yuqori foydalanish tezligi talablariga javob beradi.
Shunga qaramay, barcha tosh materiallar qoniqarli tebranishga qarshi ishlashni ta'minlamaydi. Oddiy marmarda mo'l-ko'l ichki yoriqlar va zaif namlash qobiliyatiga ega bo'sh donalar mavjud. U tebranish energiyasini samarali ravishda tarqata olmaydi va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun nanometr darajasidagi jarayon talablariga javob bera olmaydi. UNPAALLELED Group qattiq xomashyo saralashini amalga oshiradi va ichki yoriqlar va don taqsimoti notekis bo'lgan toshlarni rad etadi. Katta o'lchamli monolit-qayta ishlash quvvati va keng qamrovli metrologiyani tekshirish tizimlari bilan qo'llab-quvvatlangan kompaniya granitning tebranishini pasaytirish potentsialini haqiqiy komponentlarning ishlashiga aylantiradi va yarimo'tkazgich uskunalari uchun strukturaviy barqarorlikni ta'minlaydi.
Xulosa qilish kerakki, granit gantlarning tebranishini pasaytirish qobiliyati oddiy materialni almashtirishdan ancha ko'p. U ko'p o'lchovli yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish liniyalarida murakkab mikro-vibratsiya muammolarini hal qiladi: o'z-o'zidan qo'zg'atilgan qoldiq tebranishlarni bostirish, kiruvchi tashqi tebranishlarni susaytirish, rezonans amplitudasini cheklash va birlashtirilgan tuzilmalar tufayli ishlashning yomonlashishini oldini olish. U gofretni qayta ishlash va tekshirish vaqtida nanometr darajasidagi aniqlikni ta'minlaydi va fabrikalarga chip ishlab chiqarish rentabelligini saqlashga yordam beradi.